半导体行业的VOCs废气主要来源于光刻、显影、蚀刻和扩散等。在这些工艺中,要用有机溶液(如异丙醇)清洗晶片表面,其挥发产生的废气是有机废气的来源之一。同时,光刻和蚀刻中使用的光刻胶(光致抗蚀剂)含有挥发性有机溶剂,如醋酸丁酯,在晶片加工过程中也会挥发到大气中,是有机废气的另一个来源。 半导体工业中使用的清洗剂、显影剂、光刻胶、蚀刻液等溶剂中含有大量的有机成分。在此过程中,这些有机溶剂大部分挥发到废气中。目前,吸附、焚烧或两种方法的组合通常用于这种气体排放。一般用沸石轮吸附,蓄热式焚烧炉焚烧。 焚烧也应用于半导体工业,处理各种有机废气,并通过热氧化将有机物质转化为CO2和水。同时焚烧也是一种处理废气的好方法,有稳定的流量和浓度。在热氧化中,有机废气流被加热,气相中的有机物被氧化。为了节省燃料的使用,通常使用热交换器来回收焚烧产生的热量,以预热输入的气体。这种方法通常用于处理大流量、低浓度的气体。因为半导体行业废气焚烧会产生SiO2,使催化剂钝化,所以接触氧化很少用于半导体行业。这个行业RTO投入运行至今,已经过去了40多年。湖北三床蓄热式焚烧炉价格
频繁发生的可燃气体安全事故使人们不得不重视安装可燃气体报警器的必要性。气体报警器可以检测气体浓度,安装在气体泄漏的地方。当空气中的气体浓度超过设定值时,探测器会触发报警,启动联动装置,通风或关闭气源,消除危险情况,很大程度上避免了火灾、易爆、窒息、死亡等恶性事故的发生。 蓄热式焚烧炉使用的可燃气体在线监测LEL具有响应时间快、测量精度高、使用寿命长、维护简单等特点。RTO可燃气体LEL在线监测用于测量易燃易爆气体,如苯系物、醇类、各种碳氢化合物及其衍生物。防止区域内高浓度气体的产生导致燃爆,避免超标排放导致环保和安全监管违规。 RTO可燃气体在线监测LEL适用于石油化工行业可燃气体的在线监测。基于红外线IR检测原理,是符合现行国内及通用法规,符合相关计量、环保法规及标准的产品。湖北三床蓄热式焚烧炉价格在各种VOC处理设备里面效率高。
可燃气体探测器将检测工厂内可燃气体的浓度,并将其传输至控制系统。一旦工厂内可燃气体浓度达到上限报警值,控制系统将发出声光报警,并输出上限报警信号,启动抽风机或监控现场安全员采取更有效的措施降低现场可燃气体浓度。如果可燃气体浓度检测器检测到气体浓度继续上升,达到上限报警值,控制系统将输出上限报警信号(脉冲信号),启动紧密切断电磁阀,切断气源。 蓄热式焚烧炉系统的可燃LEL在线监测采样探头通过接口连接到工艺管道,工艺废气通过采样泵泵入采样单元的进气口。样气中的灰尘和水蒸气可以通过带冷凝功能的水尘过滤器过滤,冷凝水通过自动排水蠕动泵单元排出系统外。调节通过后流量计的稳定流量,并将清洁、低湿度和稳定的样气送至红外传感器进行分析。 RTO可燃气体LEL在线监测三通校准切换阀用于样气采集和系统定期校准切换。每半年或一年,仪器会有零点漂移,会引入标准浓度的丙烷气体进行校准。系统校准时,需要确认或屏蔽高浓度报警信号的输出,以防止系统停机或安全隐患。
行业简介:涂布是指将糊状聚合物、熔融聚合物或聚合物熔体涂布在纸、布、塑料薄膜上制成复合材料(膜)的方法。涂布机是在卷好的基材上涂上一层具有特定功能的胶水、涂料或油墨,干燥后进行辊压。在涂布过程中,溶液中的有机溶剂在干燥和晾干过程中会释放出有机废气。根据产品的不同,废气有甲苯、二甲苯、酮、酯、卤代烷等。 处理工艺:涂料行业废气浓度适中,在2000-10000mg/Nm3,但成分复杂,不可回收,选择热氧化法。在这个浓度下,蓄热式焚烧炉的RTO基本不需要外界的热量,可以自己运行。如果浓度高,需要增加热旁路和混合箱,尾气温度高,可以利用余热。通常,RTO直接用于处理废气。宁新环保成立于2011年,几乎是国内较早的蓄热式焚烧炉生产厂家。
企业的VOCs成分复杂多样,气量不稳定,尤其是精细化工等企业的间歇生产,使得有机废气的浓度和体积呈间歇性变化。因此,在收集技术资料时,应充分了解企业的生产工艺和废气的主要来源,并根据企业的实际情况合理选择设备和设施。需要了解废气的正常浓度、高浓度和低浓度,明确工艺过程中VOCs废气的排放特征和可能出现的意外因素。易反应聚合的有机物(如苯乙烯)不宜采用蓄热式焚烧炉。 呋喃水泥也是一种树脂材料,耐热性好,粘结强度高。是耐酸碱的理想粘结剂,能抵抗有机溶剂的腐蚀。在环氧树脂、酚醛树脂等树脂材料不适合的情况下,呋喃水泥也可以胜任。例如,它可以在被氢氟酸腐蚀的环境中使用。除耐腐蚀外,还具有固化快等优点,在-5至10下均可正常固化。RTO一般5年操作设备稳定保持在95%以上热回收率。湖北旋转蓄热式焚烧炉
蓄热式焚烧炉的保温较为严格,一般炉体表面温度不超过60℃。湖北三床蓄热式焚烧炉价格
蓄热式焚烧炉系统应配备LEL在线监测,用于实时监测待净化废气的浓度值。当废气浓度的瞬时值超过设定的安全值时,应采取稀释、旁通等对策,防止高浓度废气直接进入RTO炉体造成安全事故。 l在线监测LEL的安装位置和选择应从及时性和准确性方面考虑,以保证RTO系统能做出及时有效的响应措施。一般制药企业的排气歧管中混合废气的浓度波动较大。例如,该时间段内某一时刻的混合废气峰值浓度为LEL下限的27.3%,超过LEL下限的25%。由于RTO系统反应及时,避免了安全事故的发生。 当RTO系统突然断电时,如果RTO控制程序完全断电,RTO控制界面中的关键节点参数无法实时反馈,阀门切换不到位,存在废气燃烧、爆燃等安全隐患。因此,RTO系统应配备UPS备用电源和压缩空气储气罐。湖北三床蓄热式焚烧炉价格
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